激光光譜原位分析儀(LIBSOPA-100)是激光誘導擊穿光譜分析技術(shù)（LIBS）和原位統(tǒng)計分布分析技術(shù)（OPA）***結(jié)合的新型分析儀器。激光誘導擊穿光譜原位統(tǒng)計分布分析技術(shù)(LIBSOPA)通過高能激光聚焦于樣品表面，樣品被擊穿形成高溫等離子體，通過檢測等離子體光譜信號，獲得樣品的成分及元素分布信息的技術(shù)。其分析原理是：樣品表面被高能激光擊穿形成等離子體，等離子體光線經(jīng)過濾波,分光之后被多通道的光電倍增管檢測系統(tǒng)檢測。根據(jù)光譜特征譜線波長得出被擊穿位點的元素種類;定標后對應(yīng)譜線的強度表示被擊穿位點元素的濃度。借助精密三維移動平臺在樣品激發(fā)表面很好的***和記錄，實現(xiàn)任意點掃描，一維線性掃描，一維深度分析和二維面掃描分析，并據(jù)此獲得與材料原位置相對應(yīng)的各元素原始含量及狀態(tài)信息，可以用統(tǒng)計解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度等信息。該方法不但有激光光譜的非接觸分析，微區(qū)分析，深度分析的優(yōu)點，又具備原位統(tǒng)計分布分析技術(shù)的原位性和統(tǒng)計性。LIBSOPA-100的研制成功為材料成分分析，缺陷分析，涂鍍層等樣品的分析應(yīng)用提供了新的技術(shù)手段及質(zhì)量判據(jù)。

1.  *LIBS技術(shù)與OPA技術(shù)結(jié)合的新型分析儀器，多項技術(shù)。
2.  多元素同時分析。28個元素通道，包含C,P,S元素，線性關(guān)系良好；
3.  預剝蝕時間，積分時間，門控延遲時間動態(tài)可調(diào)。
4.  分析簡便、快速，無前處理過程，避免樣品被污染；
5.  分析不受樣品尺寸，狀態(tài)，導電性，難熔與否的影響；
6.  LIBS具有高靈敏度與高空間分辨率，非常適合涂層材料、薄膜材料分析；
7.  微小燒蝕光斑可進行局部微區(qū)分析，表面微損分析，適合材料缺陷分析；
8.  非接觸測量，響應(yīng)迅速，分析時間短，可滿足實時分析以及在線分析的要求。

激光光譜原位分析儀技術(shù)參數(shù)

激光光源
Continuum SureliteTM III－10 YAG激光器
波長：1064 nm
能量：800
脈寬：4～6 ns
光束發(fā)散角：0.6 mrads
真空光學系統(tǒng)
巴邢—龍格架法，光柵焦距750 mm
高發(fā)光全息光柵，刻線為2400條/mm
譜線范圍：170 ~ 800 nm
色散率
    一級色散率：0.55 nm/mm
    二級色散率：0.275 nm/mm
分辨率：優(yōu)于0.01 nm
標準檢測通道數(shù)量：25個
樣品掃描***系統(tǒng)
三維工作臺
    行程：X軸75mm，Y軸75mm，Z軸100mm
    數(shù)控步進電機驅(qū)動
    位置重復精度為0.01mm
    工件***重量：12Kg
CCD成像系統(tǒng)
聯(lián)合數(shù)控工作臺實現(xiàn)樣品的***和觀察
視場大?。?～10mm
聚焦精度：0. 1mm
電源要求
220V/20A
外形尺寸
寬×深×高（105 cm×66 cm×120 cm）
重量
毛重約400 Kg
工作環(huán)境
溫度：18～29℃
濕度：≤60%