MOX傳感器MCM設(shè)備的組成。測試系統(tǒng)需求為了測試這些設(shè)備，測試系統(tǒng)需要具備以下功能和屬性：測試/校準(zhǔn)MOX傳感器的時間可能需要幾十分鐘。由于需要在真空和目標(biāo)氣體“浸泡”傳感器，所以需要很長的“soak”時間。顯然，使用大型、高性能的半導(dǎo)體測試儀，在soak期間需要閑置一段時間，這樣不能有效的利用這些昂貴的資源。所以，解決方案必須具有較低的初始資本成本。測試吞吐量很重要。由于駐留時間長，因此系統(tǒng)必須支持非常大的并行測試能力，這樣才能將soak時間內(nèi)分攤到多個設(shè)備上DUT負載板必須位于一個可以對氣體濃度進行控制的封閉環(huán)境中。
LDG-MIK升級款電磁流量計是根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律進行流量測試的流量計。電磁流量計的優(yōu)點是壓損極小，可測流量范圍大。流量與流量的比值一般為10：1以上，適用的工業(yè)管徑范圍寬，可達3m，輸出信號和被測流量呈線性，度較高，可測量電導(dǎo)率≥5μs/cm的酸、堿鹽溶液、水、污水、腐蝕性液體以及泥漿、礦漿、紙漿等流體流量。
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但是由于這種探頭的帶寬只能做到6MHz左右，所以隨著開關(guān)電源頻率的提升，這種探頭便不再適合使用。目前常用的電源測量探頭是10:1無源探頭、100:1無源探頭、高壓差分探頭。探頭的選擇上首先要考慮電壓范圍，被測電壓不要超出探頭允許的范圍。比如說一般的10:1的無源探頭，其低頻耐壓值是300VRMS，且隨著頻率的升高而降低。如所示。使用之前要測量信號的電壓范圍在此范圍內(nèi)。否者將無法進行正確的測量。10:1無源探頭輸入額定電壓曲線除此之外，還需要考慮探頭衰減比對底噪的放大，從而判斷信號的真實有效部分。
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