工作條件：工作環(huán)境溫度5-35℃；濕度≤70%；電源220V/50/60Hz。

主要用途：美國Novascan加熱型紫外臭氧清洗機廣泛用于納米技術、化學、生物、光學、電子、半導體及世界各地實驗室。主要應用領域：預處理表面圖案化工具；清潔硅和氮化硅探針；晶圓清洗；表面氧化及制備；提高表面親水性；表面清洗；制備薄膜沉積；紫外光固化；表面圖案化；清洗光學鏡頭；粘接硅橡膠；表面消毒；清潔MEMS器件；可處理材料表面：氮化硅、金屬、玻璃、云母、石英、陶瓷、聚合物。

系統(tǒng)組成:

1）紫外臭氧清洗機 主機 1臺          2) 可變工作臺(內置)         1個

3) 微處理器(內置)        1個           4) Thermal UV,溫度高達200℃ 1套

 技術參數(shù)：

美國Novascan加熱型紫外臭氧清洗機是科研級紫外臭氧清洗機，有效清洗尺寸大于12.5x12.5cm的樣品；

樣品臺單元：

1.樣品臺尺寸大于12.5x12.5cm； 大處理樣品高度大于10cm；

2.※樣品高度可調，可以合理定位樣品高度和位置，位置可鎖定。

3.※樣品臺可加熱控溫，控溫范圍：室溫-200℃；

4.清洗腔打開方式：上開式；

5.360度樣品放置：打開清洗腔上開式，允許360度自由放置樣品；

紫外燈單元

UV格柵燈：低壓汞格柵燈，燈管壽命大約為5000小時；

UV反射罩：UV反射罩有效范圍大于12.5x12.5cm；；

紫外燈波長：185nm和254nm。

典型強度：28-32Mw/cm2 @253.7nm

控制單元

可編程PID數(shù)字控制器，可準確設定和控制曝光時間、處理時間、樣品高度、樣品加熱等各項參數(shù)；

系統(tǒng)運行過程可執(zhí)行暫停、終止或重新啟動等指令；

倒計時方式數(shù)字顯示；

內置存儲器，記憶可調取上一次處理的參數(shù)設置。 

安全裝置

安全聯(lián)鎖機制，清洗腔打開系統(tǒng)自動關掉UV燈；

過溫保護：用戶可設置允許的極限溫度，實際溫度達到用戶設置溫度后，系統(tǒng)自動關機。 

※雙標準氣路：符合標準的進出氣接口，可根據(jù)用戶需要訂制，可接入氧氣，增加臭氧產量。

可選配臭氧清除機，可在直接在實驗室桌面上使用紫外臭氧清洗機，不需要通風櫥，操作安全方便。樣品處理過后不需等待，可以直接取出，節(jié)省時間。

可選配雙UV燈系統(tǒng)，可以同時對樣品頂部和底部進行處理，操作更方便，效果更好，也更節(jié)省時間。