全息數(shù)字顯微鏡的縱向精度是由激光的本征波長來校準(zhǔn)的，因此提供了激光干涉級別的高精度和高可重復(fù)性的量測數(shù)據(jù)?？v向分辨率達(dá)到了亞納米，橫向分辨率則由所選物鏡決定。

另外得益于對所記錄全息圖的*數(shù)字重建運(yùn)算，DHM® 可數(shù)值選取所需聚焦的像面(數(shù)字自動聚焦)。這一功能也允許用戶在數(shù)據(jù)記錄后重新尋找聚焦像面，而無需再調(diào)整樣品實(shí)際高度。

全息數(shù)字顯微鏡

反射式數(shù)字全息顯微鏡(DHM® -R)，非掃描非接觸無損測量，顯示靜態(tài)和動態(tài)三維形貌，表征周期振動。

的速度，*創(chuàng)新的技術(shù)

超高速記錄動態(tài)三維形貌：
DHM® 采用非掃描機(jī)制，采集單幀圖像既能記錄樣品表面三維形貌，因此擁有其他技術(shù)無法匹敵的圖像采集速度。使用標(biāo)準(zhǔn)相機(jī)采集速度為視頻速率30幀/秒，而高速相機(jī)可以達(dá)到1000幀/秒，使得以下應(yīng)用變?yōu)榭赡埽?br />研究可形變樣品三維動態(tài)響應(yīng)
表面大區(qū)域掃描分析
高產(chǎn)量常規(guī)檢測
生產(chǎn)線在線三維形貌捕捉

MEMS測振分析，高可達(dá)25MHz
頻閃模塊(可選配件)可同步DHM® 測量時激光脈沖與 MEMS器件的激勵信號，獲取振動周期內(nèi)的全視場振動模態(tài)。 這些*的分析數(shù)據(jù)可提供以下信息：
三維形貌時序圖
頻率共振分析和響應(yīng)分析
面內(nèi)面外振幅分析(面內(nèi)振幅測量精度1nm，面外振幅測量精度5pm)
復(fù)雜運(yùn)動表征，振動模態(tài)表征，樣品動態(tài)三維形貌

多種可控環(huán)境下測量
*的光學(xué)原理和光路設(shè)計使得DHM® 能夠滿足使用者在各種環(huán)境下的測量需求，提供靈活和便利的測量體驗(yàn)：
透過玻璃(蓋玻片、載玻片、玻璃窗口)或者浸潤液
觀測環(huán)境控制箱或真空腔內(nèi)部樣品，可改變環(huán)境參數(shù)，比如溫度、濕度、氣壓、氣體成分等