利用白光干涉測量法的原理，NanoCalc用一個寬波段的光源來測得不同波長的反射數(shù)據(jù)，由于反射率n和k隨膜厚的不同而變化，NanoCalc根據(jù)這一特性來進行曲線擬合從而求得膜厚。在NanoCalc中，不同類型材料的相應參數(shù)通過不同的模型來描述，從而保證了不同類型材料膜厚測量的準確性。NanoCalc的膜厚測量范圍為1nm到1mm，只要待測材料有一定的透射或反射就能通過NanoCalc進行膜厚測量，這些材料包括氧化物、氮化物和保護膜層等，通常這些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃燈。
光學膜厚系統(tǒng)光譜儀1nm以上的金屬膜厚也能測量，只要不是*不透光的。對于已知的系統(tǒng)，3層以內(nèi)的多層膜厚測量可以在不到一秒鐘時間內(nèi)完成。
通常擬合曲線和實際曲線由于干涉會引起一些差異，NanoCalc的算法充分考慮到了這一點，從而可以在比較粗糙的表面進行測量。
光學膜厚系統(tǒng)光譜儀產(chǎn)品主要優(yōu)勢和特點
- UV/VIS/NIR高分辨率的配置
- 測量準確度在1nm，精度在0.1nm
- 可測量zui大10層薄膜
- 膜厚測量zui小可至1nm，zui大可至1mm
- 可測量zui小1nm厚的透明金屬層
- 提供試驗臺及附件用于復雜外形材料的測量
- 對表面缺陷和光滑度不敏感
- 龐大的材質(zhì)數(shù)據(jù)庫，保證各種材料的精確測量
快 速： | 每次測量只需輕點一下鼠標，測量結(jié)果立即呈現(xiàn)在顯示屏上，不到一秒鐘。應用于在線模式下，可接受到采樣信號后，立即測量。 |
準 確： | 分辨率0.1nm，重復性0.3nm，準確度優(yōu)于1%，并且還有數(shù)百種材料組成的龐大材料庫，幫助您準確分析您的薄膜。同時NanoCalc為光學測試系統(tǒng)，無任何運動部件，不會由于多次測量產(chǎn)生回程誤差等機械運動誤差，可長時間穩(wěn)定工作。 |
無 損： | 光學無損檢測，無需像臺階儀、SEM等需破壞樣品進行測量。 |
靈 活： | 重量約為3.5kg，體積為180*150*263mm，USB連接方式，自適應90-240V的電壓，攜帶方便，安裝簡單，可任意放置于實驗室、生產(chǎn)線甚至辦公桌上使用。擁有多種特種配件，可適用如非平面測量，顯微測量，mapping等特殊要求。 |
易 用： | 軟件界面直觀，操作簡便，用戶體驗出色。無需專業(yè)知識以及復雜的技術培訓，預先設置好測試配方后，每次重復調(diào)用即可。 |
性價比高： | 相對于傳統(tǒng)膜厚測量設備，NanoCalc擁有非常高的性價比。 |
