臭氧分析儀由低壓紫外燈，光波過濾器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、樣品光電傳感器、采樣光電傳感器、輸出顯示、電路部件構成。
臭氧分析儀檢測方法：
化學檢測法
1、dian量法
dian量法是常用的臭氧測定方法，我國和許多國家均把此法作為測定氣體臭氧的標準方法，我國建設部發(fā)布的《臭氧發(fā)生器臭氧濃度、產(chǎn)量、電耗的測量》標準CJ/T30282—94中即規(guī)定使用dian量法。其原理為強氧化劑臭氧與dian化鉀水溶液反應生成游離dian，臭氧還原為氧氣。
2、比色法
比色法是根據(jù)臭氧與不同化學試劑的顯色或脫色反應程度來確定臭氧濃度的方法，按比色手段分為人工色樣比色與光度計色，此法多用于檢測水溶解臭氧濃度。
國內檢測瓶裝水臭氧溶解濃度有使用dian化鉀、鄰聯(lián)jia胺等比色液的，其方式是利用檢測樣品顯色液管相比較，確定測樣臭氧溶解度值，要求精確的，則利用分光光度計檢測。
3、檢測管
將臭氧氧化可變化試劑浸漬在載體上，作為反應劑封裝在標準內徑的玻璃管內做成測管，使用時將檢測管兩端切斷，把抽氣器接到檢測管出氣端吸取定量臭氧氣體，臭氧濃度與檢測管內反應劑柱變色長度成正比，通過刻度值讀取濃度值。德國、日本和我國都生產(chǎn)臭氧檢測管，濃度范圍分為高(1000ppm)、中(10ppm)、低(3ppm)三種，用于檢測空氣臭氧濃度，適于現(xiàn)場應用，使用簡便，但精度低(為±15%)。
物理方法
物理方法分析臭氧現(xiàn)在在上liu行的是紫外線吸收法。它是利用臭氧對254nm波長的紫外線特征吸收的特性，依據(jù)比爾—郎伯定律制造出的分析儀器，只要選擇合適長度的吸收池，就可以檢測0.002mg/m3~5%(vol)濃度的臭氧。其線形在4~5個數(shù)量級內都很好，該法已被我國作為環(huán)境空氣中測定臭氧的標準方(GB1/T1154348)。
紫外線吸收法不但可以適用于檢測氣體中臭氧濃度，也可以檢測水中溶存的臭氧濃度。
紫外線吸收法的儀器在美國、的國、瑞士、日本都有產(chǎn)品。我國北京分析儀器廠于1985年引進了美國莫尼特公司的ML-8810型紫外吸收式臭氧分析器，用于環(huán)境檢測，1992年以后又陸續(xù)擴展量程到100ppm、1000ppm。北京超能自控實驗技術研究所在1999年開發(fā)了ZX-01系列紫外線吸收式臭氧分析器，其測量范圍從0~10ppm(用于環(huán)境檢測)、0~100ppm、0~1000ppm、0~10000ppm到0~25000ppm。
