D07-19F氣體質(zhì)量流量控制器,抗電磁干擾氣體質(zhì)量流量控制器
特點(diǎn)：
★高性能價(jià)格比、普通型產(chǎn)品
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★管狀分流，使用壽命長(zhǎng)
D07-19F氣體質(zhì)量流量控制器,抗電磁干擾氣體質(zhì)量流量控制器介紹：
質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。
,抗電磁干擾氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品型號(hào) | D07-19F |
|---|---|
| 產(chǎn)品類型 | 抗電磁干擾 |
| 流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
| 產(chǎn)品精度 | ±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
| 線性 | ±0.5％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.) |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤4sec |
| 工作溫度范圍 | (5~45)°C |
| 耐壓 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene |
| 輸入輸出信號(hào) | (1~5)VDC,(4~20)mA |
| 電源 | 24V |
| 閥類型 | 常閉 |
| 溫度系數(shù) | - 無(wú) - |
| 零點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無(wú) - |
| 電氣連接 | D sub 15 pins Male |
| 工作壓差范圍 | (0.1～0.3) MPa （10slm＜F.S.）,(0.1～0.5) MPa （F.S.≤10slm） |
| 漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He） |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程＞10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,φ4(內(nèi))×1軟管接頭,VCR1/4”,φ6(內(nèi))×1軟管接頭 |
| 表面化學(xué)成分 | - 無(wú) - |
| 表面粗糙度 | - 無(wú) - |
| 抗電磁干擾 | CE |
| 重量 | 1.2Kg |
