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組成羅茨泵真空機(jī)組,羅茨泵與前級(jí)泵的抽速比的選擇是很重要的。
因?yàn)榱_菠泵的壓縮比很有限。這一壓縮比決定著前級(jí)泵的容越,因壓縮比是兩者抽速的反比。一般壓縮比在2~10內(nèi)選取。另外應(yīng)當(dāng)考慮對(duì)預(yù)抽時(shí)問的要求。
真空設(shè)備是作為輔助設(shè)備應(yīng)用于各種機(jī)械設(shè)備中的,如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間,可選較小的前級(jí)泵(壓縮比可大些),若真空窒較大。而且要求很快預(yù)抽,就用較大的前級(jí)泵。
有時(shí)為了更好地發(fā)揮設(shè)備的效率,機(jī)組前裝有一臺(tái)較大的預(yù)抽泵,在正常工作后停掉它,而用較小的前級(jí)泵維持,這樣做是為了節(jié)約功率。
對(duì)羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求,也是選擇前級(jí)泵必須考慮的,對(duì)極限真空度要求較高(達(dá)1×10-3Pa~1×10-2Pa壓力)一般選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閻機(jī)械泵作為前級(jí)泵。
極限真空度要求在(1×10-2Pa~1×10-1Pa)之間可選用單級(jí)油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵,極限真空度要求在133~1333pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級(jí)泵。
為了獲得在低入口壓力(1-100pa)時(shí)的高的抽氣速率,可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵組成的三級(jí)或四級(jí)機(jī)組,此時(shí)羅茨真空泵之問的抽速比一般在2~5之間。