低溫等離子體被稱作除固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)之外的第四種物質(zhì)存在形式。等離子體是由電子、離子、自由基和中性離子組成的導(dǎo)電性流體，整體保持電中性。按離子的溫度，等離子體可分為熱平衡等離子體（熱等離子體）和非平衡等離子體（低溫等離子體）。在熱平衡等離子體重，電子與其他離子的溫度相等，一般在5000K以上；在非平衡等離子體中，電子溫度一般要高達(dá)數(shù)萬(wàn)度，而其他離子的溫度只有300-500K。采用低溫等離子體分解氣體污染物時(shí)，等離子體中的高能電子起決定性作用。數(shù)萬(wàn)度的高能電子與氣體分子（原子）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過(guò)程，使氣體處于活化狀態(tài)。電子的能量較低時(shí)，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過(guò)等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫除。當(dāng)電子平均能量超過(guò)污染物分子化學(xué)鍵結(jié)合能時(shí)，分子鍵斷裂，污染物分解。

  低溫等離子凈化工藝：通過(guò)收集管道將廢氣氣體送入等離子凈化設(shè)備時(shí)，利用低溫等離子體分解氣體污染物氣體污染物的原理對(duì)煙霧、異味氣體進(jìn)行處理，從而達(dá)到消除廢氣異味的目的。廣泛適用于工業(yè)生產(chǎn)加工中有煙霧、油霧、煙氣等污染氣體及其他有類似污染煙氣排放的場(chǎng)所。