NanoPWM驅(qū)動(dòng)器-代替線性驅(qū)動(dòng)器NanoPWM驅(qū)動(dòng)器-代替線性驅(qū)動(dòng)器
利用ACS所有的NanoPWM技術(shù),產(chǎn)品線PWM驅(qū)動(dòng)器提供的*的靜止抖動(dòng)和平滑的速度性能,相較于經(jīng)典的商業(yè)上可用的線性驅(qū)動(dòng)器。
ACS的NanoPWM驅(qū)動(dòng)器提供的運(yùn)動(dòng)性能(保證的),減小安裝尺寸,減少熱耗散,和經(jīng)濟(jì)的價(jià)格。NanoPWM驅(qū)動(dòng)器是zui*驅(qū)動(dòng)器用于450MM和300MM晶圓制程平臺(tái),也可以用于其他需要以平滑的速度和亞納米級(jí)抖動(dòng)的高速度和加速度的伺服控制應(yīng)用。
用一個(gè)Spilplus的控制器和NanoPWM驅(qū)動(dòng)器控制一個(gè)直線平臺(tái),可以達(dá)到下面的性能:
*靜止抖動(dòng)好于0.3納米(機(jī)械平臺(tái))
*跟隨誤差在速度100MM/秒時(shí)為10納米(氣浮平臺(tái))
納米定位和高速度
當(dāng)需要高速度,納米定位的分辨率時(shí),OEM廠家至今局限于昂貴的激光干涉儀反饋系統(tǒng),用ACS的10MHZ SpilplusSin-Cos編碼器差分器,控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)師現(xiàn)在有了經(jīng)濟(jì)的替換方案,用模擬量光學(xué)編碼器或者激光原理的超快編碼器就夠用了。
zui精確和柔性的龍門控制
對(duì)于高精度龍門定位平臺(tái),有兩個(gè)電機(jī)(每個(gè)有自己的反饋)被用來(lái)控制一個(gè)軸。ACS運(yùn)動(dòng)控制已經(jīng)開發(fā)了*和有力的算法提供*水準(zhǔn)的定位精確度,速度穩(wěn)定性,和整定時(shí)間。
龍門算法主要特征: 優(yōu)勢(shì):
*帶解耦環(huán)的MIMO控制 *更高的帶寬
*縱向伺服環(huán)控制 *更好的穩(wěn)定性
*旋轉(zhuǎn)(偏擺)方向伺服環(huán)控制 *zui小的軸相互干擾
*自動(dòng)力/編碼器調(diào)度作為橫梁軸位置的函數(shù) *調(diào)試簡(jiǎn)單
*偏擺角的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償 *可靠的操作
*剛性龍門和柔性龍門都適合