測(cè)量范圍	庫(kù)號(hào)：M403620	外形尺寸	庫(kù)號(hào)：M403620mm
用途	庫(kù)號(hào)：M403620	測(cè)量精度	庫(kù)號(hào)：M403620
產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	電壓	庫(kù)號(hào)：M403620v
供貨周期	3天

離子減薄儀制備儀庫(kù)號(hào)：M4036202.9 真空系統(tǒng)：無(wú)油機(jī)械泵+80L/S抽氣速度分子泵系統(tǒng)。
2.10 所需氣體：氬氣，操作壓力25psi，無(wú)需水冷
*2.11 控制部分：10英寸觸摸屏控制，菜單化操作，并支持減薄程序的設(shè)定和儲(chǔ)存。

離子減薄儀制備儀庫(kù)號(hào)：M403620 產(chǎn)品信息

離子減薄儀制備儀庫(kù)號(hào)：M403620離子減薄儀制備儀庫(kù)號(hào)：M4036201. 工作條件
1.1 電力供應(yīng)：220V（10%），50Hz，1φ; 380V（10%），50Hz，3φ
1.2 工作溫度：15℃-25℃
1.3 工作濕度：< 60%
2. 技術(shù)要求
*2.1 離子槍：潘寧式離子槍，裝載永磁鐵，聚焦離子束設(shè)計(jì)，無(wú)耗件。
*2.2減薄角度：+10°到-10°，每只離子槍可獨(dú)立調(diào)節(jié)。
2.3 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)：樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速1~6 rpm可調(diào)。
2.4 樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：載臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)X和Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍：+/- 0.5mm。
*2.5離子槍束能量：0.1keV~8keV?？稍诓煌妷合伦詣?dòng)優(yōu)化離子束束流。電流密度可達(dá)10mA/cm2.
2.6 離子束調(diào)制：可以進(jìn)行角度選擇性區(qū)域離子減薄減薄
2.7樣品更換：快速樣品更換時(shí)間<1min，無(wú)需破減薄室真空
*2.8樣品臺(tái)：DouPost樣品臺(tái)以及裝樣器，方便快速更換樣品以及實(shí)現(xiàn)雙面減薄。
2.9 真空系統(tǒng)：無(wú)油機(jī)械泵+80L/S抽氣速度分子泵系統(tǒng)。
2.10 所需氣體：氬氣，操作壓力25psi，無(wú)需水冷
*2.11 控制部分：10英寸觸摸屏控制，菜單化操作，并支持減薄程序的設(shè)定和儲(chǔ)存。

備注：其中，帶*的指標(biāo)為重要的必須滿足的技術(shù)指標(biāo)