邦諾單晶制氮機(jī)

氮?dú)庾鳛楸Ｗo(hù)氣體在退火：雙工位熱氧化爐經(jīng)氮?dú)獯祾吆?，用紅外加熱至300~500℃，硅片表面和氧氣發(fā)生反應(yīng)，使硅片表面形成二氧化硅保護(hù)層。

工作原理

制氮機(jī)工作原理，制氮機(jī)是根據(jù)變壓吸附原理，采用高品質(zhì)的碳分子篩作為吸附劑，在一定的壓力下，從空氣中制取氮?dú)狻＝?jīng)過(guò)純化干燥的壓縮空氣，在吸附器中進(jìn)行加壓吸附、減壓脫附。由于空氣動(dòng)力學(xué)效應(yīng)，氧在碳分子篩微孔中擴(kuò)散速率遠(yuǎn)大于氮，氧被碳分子篩優(yōu)先吸附，氮在氣相中被富集起來(lái)，形成成品氮?dú)?。然后?jīng)減壓至常壓，吸附劑脫附所吸附的氧氣等雜質(zhì)，實(shí)現(xiàn)再生。一般在系統(tǒng)中設(shè)置兩個(gè)吸附塔，一塔吸附產(chǎn)氮，另一塔脫附再生，通過(guò)PLC程序控制器控制氣動(dòng)閥的啟閉，使兩塔交替循環(huán)，以實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)高品質(zhì)氮?dú)庵康摹?/span>

整套系統(tǒng)由以下部件組成：壓縮空氣凈化組件、空氣儲(chǔ)罐、氧氮分離裝置、氮?dú)饩彌_罐。

制氮機(jī)技術(shù)指標(biāo)：

流量：3-300Nm3/h           純度：95%-99.9995%

露點(diǎn)：≤-65℃             壓力：≤0.6Mpa可調(diào)

制氮機(jī)技術(shù)特點(diǎn) 
　　1、完善的流利設(shè)計(jì)，*使用效果； 
　　2、合理的內(nèi)部構(gòu)件，氣流分布均勻，減輕氣流高速?zèng)_擊； 
　　3、*的分子篩保護(hù)措施，延長(zhǎng)碳分子篩的使用壽命； 
　　4、操作簡(jiǎn)便，運(yùn)行穩(wěn)定，自動(dòng)化程度高，可實(shí)無(wú)人運(yùn)行； 
　　5、自動(dòng)聯(lián)鎖氮?dú)馀趴昭b置，保證產(chǎn)品氮?dú)赓|(zhì)量； 
　　6、可選配氮?dú)庋b置流量，純度自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)等；