二維PSD位置傳感器 PCB封裝 PSD-W203
二維PSD位置傳感器 PCB封裝 PSD-W203
PSD（Position Sensitive Detectors）是一種能測(cè)量光點(diǎn)在探測(cè)器表面上連續(xù)位置的光學(xué)探測(cè)器。PSD由P襯底、PIN光電二極管及表面電阻組成。與CCD探測(cè)器相比，PSD有諸多優(yōu)點(diǎn)，如位置分辨率高，響應(yīng)速度快和處理電路簡(jiǎn)單等。另外，位置信號(hào)與落在探測(cè)器上的光斑形狀無(wú)關(guān)。
我公司可提供各種精度和規(guī)格尺寸的PSD探測(cè)器。
特點(diǎn)
●位置分辨率高
●光譜響應(yīng)寬
●響應(yīng)速度快
●位置和光強(qiáng)同時(shí)測(cè)量
●不受光斑的約束
●性高
應(yīng)用范圍
●光學(xué)位置和角度的探測(cè)
●光學(xué)遙測(cè)系統(tǒng)
●位移和振動(dòng)測(cè)量
●激光對(duì)中和準(zhǔn)直
●距離測(cè)試
●人類(lèi)運(yùn)動(dòng)姿態(tài)分析
工作原理與PSD特點(diǎn)
1 結(jié)構(gòu)
如圖1截面圖所示，PSD由在平面硅襯底上的三層組成：P型層在表面，N型層在另一面，I層在它們中間。落在PSD上的入射光轉(zhuǎn)換成光電子后由P型層上兩端電極探測(cè)并形成光電流。
圖1
2 原理
當(dāng)一束光落在PSD上，相應(yīng)于光能量的電荷在入射點(diǎn)產(chǎn)生，電荷通過(guò)P型電阻層被電極收集。P型層是均勻一體的電阻層，被電極收集到的光電流與入射點(diǎn)和電極間距成反比。
由此可得出如下公式：I1和I2是電極的光電流，L和I0分別代表電極間距和總光電流。
圖2
當(dāng)PSD幾何中心設(shè)定為坐標(biāo)原點(diǎn)：
----------（1） ----------（2）
----------（3） ----------（4）
當(dāng)PSD一端設(shè)定為坐標(biāo)原點(diǎn)：
----------（5） -----------（6）
----------（7） ----------（8）
由公式（3），（4），（7），（8）顯示，不同的比率可得出相應(yīng)的與光能量無(wú)關(guān)的入射光點(diǎn)的位置。
3一維PSD
PSD分兩種類(lèi)型：一維PSD（稱(chēng)1D-PSD）和兩維PSD（稱(chēng)2D-PSD）探測(cè)器，圖3a是1D-PSD的結(jié)構(gòu)圖。
a b
圖 3
圖3b是1D-PSD的等效電路圖。由于有寄生Cj和Rp，它們的時(shí)間常數(shù)決定了PSD的響應(yīng)速度。通過(guò)集成電路處理，1D-PSD可用于探測(cè)100ps脈沖寬度的激光光斑。
4 2D-PSD
2D-PSD是一種改進(jìn)型四側(cè)面結(jié)構(gòu)，包括改進(jìn)敏感面和電極。另外，器件暗電流小，響應(yīng)速度高和設(shè)置偏壓容易，邊緣畸變小。
圖 5
5 轉(zhuǎn)換公式
PSD光敏面上光點(diǎn)位置可由如下公式得出：這里 X1和X2代表每一電極輸出信號(hào)（光電流），x是光點(diǎn)位置坐標(biāo)。
圖 6
圖 7
6 電路
圖8是1D-PSD直流處理
電路原理圖。Vr是偏置電壓。
圖8
7 PSD處理電路
我所可提供1D-PSD和2D-PSD信號(hào)處理電路。1D-PSD，2D-PSD分別是1D-PSD和2D-PSD非調(diào)制信號(hào)處理板。只要簡(jiǎn)單地把處理板連接電源，位置信號(hào)就能得到。
本所研制開(kāi)發(fā)了調(diào)制信號(hào)處理電路，數(shù)據(jù)可以液晶顯示，可以通過(guò)RS232口與計(jì)算機(jī)通訊。
本所還具有PSD應(yīng)用整機(jī)開(kāi)發(fā)的實(shí)力。
PSD探測(cè)器
●W101（1D-PSD）
光敏面 1×3mm
分辨率 0.1μm
光譜響應(yīng)范圍 380～1100nm
響應(yīng)時(shí)間 0.5μs
工作溫度 -10～60℃
●W203（2D-PSD）
光敏面 21×21mm
分辨率 2μm
光譜響應(yīng)范圍 380～1100nm
響應(yīng)時(shí)間 1μs
工作溫度 -10～60℃
